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Une alternative à la gravure par lithographie
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Les deux entreprises Toshiba et e-Beam ont développé en commun un appareil qui utilise un faisceau électrons pour graver les puces sur wafer. Cette alternative à la gravure par lithographie revient moins cher et permet de commencer la gravure plus rapidement. Il n'y a en effet plus besoin de masque coûteux (200 a 300 millions de yens pièce, soit 1,5 a 2,3 millions d'euros) et qui demande un mois de fabrication. La gravure de puces par faisceau électron existe déjà mais elle est trop lente et donc limitée aux travaux en laboratoire. Les deux entreprises ont réussi a multiplier la vitesse de gravure par faisceau électron par 10. Ce nouvel équipement sera particulièrement utile pour les puces destinées a l'automobile ou aux appareils domestiques car leur design varie beaucoup selon le modèle et les quantités à produire sont faibles. Selon Katsuya Okumura, professeur à l'université de Tokyo, qui a développé la technologie pour Toshiba, la gravure par faisceau électron est intéressante pour des volumes de production inférieurs a 100.000 puces. Les deux entreprises prévoient de vendre équipement a partir de 2005 a prix avoisinant un milliard de yen (7,7 millions d'euros).
BE Japon 310 : http://www.adit.fr
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